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200噸，由大約十萬個零件組成。

並且這些零件很多都是核心零件，缺一不可。

每一個零件都需要很多技術突破才能做出來。

有些工程師說過，光刻機裡的一些零件甚至需要打磨十年才能成功。

何國雖然能產出最先進的光刻機，但是他們國家也只是做一個組裝和除錯的工作罷了。

因為他們所組裝的光刻機，裡面絕大多數的核心零件都來自於西方國家。

也有人稱，要把西方陣營的國家都合在一起，才能造出一臺最頂尖的光刻機。

所以在某種程度上來說，華國想造出最頂尖的光刻機，並不是在跟某一個國家做對抗。

而是在跟整個西方世界做對抗。

但這些林曦月都不害怕，零件沒有，那就造。

光刻機的研製最難把控的地方來自於它需要超高的精準度，這也是為什麼有些工程師說一個零件都需要打磨十年。

因為只有經過反覆的調整和試驗，才能達到頂尖光刻機所需要的精確度。

他們的十年打磨在林曦月的手下只需要短短的幾天時間。

在這一個專案中，林曦月跟方院士產生分歧的次數很少，兩人在很多時候都能達成一致。

目前他們正在嘗試製作光刻機的鏡頭，要做一個頂尖的光刻機，它所要求的鏡頭技術極其高。

只有鏡頭的效能足夠好，精確度才會提高，光刻機咋子繪製電路圖的時候才不會出現任何偏差。

在歷經一個多個月後，他們製作出了具備euv光刻機所需的鉬/矽反射鏡。

研究室裡，林曦月帶著特殊製作的眼鏡，看著處於真空狀態下的反射鏡。hr

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