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之前22n光刻機專案成功的時候也沒有這種陣仗啊。

他們光電所最近也沒聽說有什麼大專案啊？

有的人仔細回想，東拼西湊你一句我一句，終於想起這個研究室是林曦月他們專案。

意識到什麼，眾人的臉色微變，看向那個被圍的裡三層外三層的研究室，心裡有了一個大膽的想法。

難道林院士他們的專案有進展了？

但是不管他們怎麼好奇，卻是連那個研究室都不敢靠近。

大家都是有經驗的老人，這個時候湊上去不是等著被懷疑嗎。

研究室裡，羅甘跟徐院士還在愛不釋手的摸著光刻機。

「不愧是3n的光刻機，看著就是不一樣啊」

林曦月笑著搖搖頭，也沒有去打擾他們，開始跟嚴謹等人整理資料。

因為光刻機涉及到的零件實在太多，他們都是邊研究邊整理資料。

現在關於它內部的資料跟各種資料指標疊起來都有三十米高。

也幸好他們是邊研究邊整理資料，不然這些資料全部堆積在一起，有夠他們磨的。

等羅甘他們稀罕夠了，才捨得從光刻機身上離家。

「林院士？那咱們下一步」

他雙眼亮晶晶的看著林曦月問道，沒等林曦月回答又接著說道：「是不是考慮生產的問題？」

一旁的徐院士同樣點點頭說道：「雖說光刻機出世，但是距離生產還有一段距離，這也是個大問題啊。」

光刻機的麻煩不僅在他的構造上，還有它的構造複雜所帶來的生產方面的麻煩。

很多零件都需要十分高的精確度，在生產方面比較難，畢竟生產的機器就是一個問題。

所以在沒有辦法完成量產的情況之下，每一個零件都需要工程師去磨，那樣子耗費太高。

林曦月放下手中的資料，朝他們招招手，帶他們走到研究室更裡面一點。

一進到裡面，滿牆的資料映入眼簾。

嚴謹跟曹育華兩人不用林曦月指示，直接上手將相關資料放在桌面上讓他們看。

徐院士一看到那一疊資料封面上的幾個大字，像是明白了什麼似的難以置信的看向林曦月。

她竟然將生產光刻機所需要的機器也設計出來了？

羅甘低頭看向那疊資料，低聲念道：「準分子雷射器？」

林曦月笑著點點頭，「嗯，這是準分子雷射器的生產資料，光刻機需要體積小、功率高而穩定的光源，並且對於光源的波長也有所要求，這是準分子雷射器的生產資料，能夠生產出適合3n光刻機的光源。」

徐院士震驚的翻著那堆資料，裡面還真的是完整且相當詳細的生產資料。

「你將光刻機的生產機器都列出來了？」

這不僅是列出來了，還直接研究出來了，相當於直接把飯餵到嘴裡，就問你吃不吃吧？

林曦月笑著搖搖頭，光刻機的零件那麼多，她怎麼可能全部都研究一邊。

「咱們也有光刻機的相關附屬專案，我查了，那些專案有很多都是對光刻機的零件進行研究，所以有的零件我並沒有列出來，只需要假意改裝就可以。」

「那鏡頭你是怎麼解決的？」

光刻機的鏡片相當重要，高數值孔徑的鏡頭決定了光刻機的解析度以及套值誤差能力。

何國那臺最頂尖的光刻機裡的鏡頭，是由光學領域在全球範圍內最領先的z公司供應。

華國在鏡頭方面的技術相對來說比較落後，這也是一個比較難以攻克的點。

林曦月朝曹育華招招手，「拿鏡頭的資料。」

徐院士聽到這句話，用一副看鬼的模樣看著依