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破也不覺得尷尬,從容一笑,「確實,羅某一直有這一個疑問,在見到林院士的時候,羅某更加想不通,還請林院士幫羅某解答一二。」
林曦月也沒有對他遮掩什麼,畢竟對方是光電所的所長,沒必要遮掩。
她向嚴謹招招手,一旁的嚴謹從包裡掏出一疊資料,在桌面上鋪開。
「羅所長,請看,這是我們這段時間整理的資料。」林曦月翻開資料,一一的講解。
「現在咱們國家主要引入的是duv光刻機,也叫深紫外線光刻機,主要用於10-130n晶片的製作,這也是因為duv光刻機的技術相對成熟,所以即使黴國想剝奪我們的duv自由,甚至多次提出相關的議案,都被這些公司給駁回。」
「光電所目前主要研究的也是duv,但是這一次我們專案主要研究的是euv光刻機,也叫極紫外線光刻機」
羅甘原本想說咱們連duv都研究不來呢,還想著研究euv?
只是還沒等他問出口,林曦月就讓他稍安勿躁,接著往下聽。
「euv光刻與duv光刻不同,它採用波長為10-14奈米的極紫外光作為光源」
隨著漸漸的聽下去,羅甘的臉色越來越嚴肅,眼裡也充滿對林曦月的震驚。
第207章 真是被豬油蒙了心了
羅甘聽完後,沉默了許久,突的他又想到一個問題。
「euv光刻機的量產問題」
是啊,euv製造雖然很難,但是它的量產是一個很大的問題。
林曦月露出一個淺淺的笑容,這一次不用她伸手,嚴謹就已經將資料攤開在桌面上。
「關於量產問題,我們有以下方案」
羅甘被那一沓資料震得瞪大了雙眼,你們專案組都做的這麼齊全嗎?hr
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